
国家知识产权局信息显示,丹东安顺微电子有限公司取得一项名为“一种半导体干法蚀刻设备”的专利,授权公告号CN224165069U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型涉及干法蚀刻技术领域,且公开了一种半导体干法蚀刻设备,解决了背景技术中所提出的问题,包括蚀刻腔室,所述蚀刻腔室形成内腔,所述蚀刻腔室的侧壁上设有探测孔,所述探测孔的内壁设有支撑槽;透光密封件,设于所述探测孔内,并位于所述支撑槽内,以密封所述内腔;终点探测器,设于所述蚀刻腔室的侧壁外部,并与所述探测孔背离所述内腔的一端对接;防污结构,设于所述支撑槽内,可移动至所述探测孔中,以遮挡所述透光密封件;还包括气体清洁系统,与所述蚀刻腔室连通,用于在蚀刻过程中向所述探测孔区域吹扫清洁气体,本实用新型通过气体清洁系统有效防止污染物沉积在透光密封件上,确保探测器能够准确探测蚀刻终点。
天眼查资料显示,丹东安顺微电子有限公司,成立于1998年,位于丹东市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5941.710268万人民币。通过天眼查大数据分析,丹东安顺微电子有限公司财产线条。
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